SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明源将参展2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体展览会(zhǎnlǎnhuì)，诚邀行业伙伴莅临14号馆14G22展位，现场(xiànchǎng)交流172nm准分子光科技(kējì)在半导体制造中的创新应用(yìngyòng)，共探制程优化新路径。 172nm MINI实验(shíyàn)模组 新品首发 本次展会，广明源将首发推出自主研发(yánfā)的新品——172nm MINI实验模组。该产品(chǎnpǐn)专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产环节(huánjié)设计，具备结构精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等特点，适配多种实验环境(huánjìng)与制程需求。 172nm 深紫外(zǐwài)黑科技 可(kě)高效分解晶圆表面有机残留，提升洁净度与附着性能，为封装(fēngzhuāng)、清洗等工艺提供稳定前处理方案。 极简结构(jiégòu)，桌面级准分子实验新体验 由于传统准分子光(guāng)辐照器因(qìyīn)高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现(nányǐshíxiàn)桌面级灵活实验。广明源创新推出紧凑台式准分子光照射器(shèqì)——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本大小，采用高集成轻量化设计，打破空间与成本壁垒，助力高校、企业及研究机构轻松搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料表面改性等(děng)多(duō)领域研发需求。 封装工艺表面(biǎomiàn)清洁处理 超净化超微细清洗工艺验证(yànzhèng) 172nm 系列全线亮相共襄盛会(shènghuì) 除新品发布外，广明源还将展出(zhǎnchū)多款172nm准分子系列光源与模组(mózǔ)产品，覆盖晶圆清洗、半导体基材表面活化、超纯水TOC降解(jiàngjiě)等多个关键工艺环节，为制程优化与设备升级提供更多选择。 172nm准分子系列光源(guāngyuán) 172nm准分子系列模组及设备(shèbèi) SEMI-e 2025 ，诚邀莅临(lìlín) 欢迎半导体制造企业、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临参观交流，现场了解172nm准分子光科技(kējì)在半导体制造领域(lǐngyù)的多元应用，共同探讨合作机会(jīhuì)。 2025 SEMI-e 中国(zhōngguó)（深圳）国际半导体展览会 时间：2025年6月4-6日(rì) 地点：深圳国际会展中心14号馆(hàoguǎn) （本文来源：日照新闻网。本网转发(zhuǎnfā)此文章，旨在为读者提供更多(duō)信息资讯，所涉内容不构成投资、消费建议。对文章事实有疑问，请与有关方(fāng)核实或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）