我国科研人员“以柔克刚”填补微型LED晶圆无损测试技术空白

新华社天津6月(yuè)13日电（记者张建新、栗雅婷）微型LED是下一代高端显示技术的核心元件(yuánjiàn)，搭载微型LED的晶圆(jīngyuán)必须达到100%的良率，否则将会给终端产品造成巨大(jùdà)的修复成本。然而，业界却一直没有找到晶圆接触式无损检测的好方法。近日，我国科研人员用“以柔克刚”的方式填补(tiánbǔ)了这一技术空白。 传统(chuántǒng)的晶圆良率检测方法有的如“铁笔(tiěbǐ)刻玉”，会造成晶圆表面不可逆的物理损伤；有的则只能“观其大概”，存在较高的漏检率和(hé)错检率。良率无损检测的技术空白严重阻碍了大面积显示屏、柔性(róuxìng)显示屏等微型LED终端产品的量产。 近日，天津大学精密测试技术及仪器全国重点实验室、精仪学院感知科学与工程系黄显教授团队打破了微型(wēixíng)LED晶圆测试瓶颈(píngjǐng)，实现了微型LED晶圆高通量无损测试，研究成果(yánjiūchéngguǒ)于13日在国际学术期刊《自然-电子学(diànzixué)》刊发。 图为柔性探针接触LED晶圆后，点亮(diǎnliàng)其中的一个LED发出蓝色光。（受访者(shòufǎngzhě)供图） 研究团队首次提出了一种基于柔性电子技术的检测(jiǎncè)方法，该方法构建的三维结构柔性探针阵列，凭借其“以柔克刚”的特性能对测量对象表面形貌进行自适应(shìyìng)形变，并以0.9兆帕的“呼吸级(jí)压力(yālì)”轻触晶圆表面。 “该技术的探针接触压力仅为传统刚性探针的万分之一，不但不会造成晶圆表面(biǎomiàn)磨损，也降低了探针本身的磨损，探针在(zài)100万次接触测量后(hòu)，依然‘容颜如初’。”黄显说。 此外，团队还研发了(le)与三维柔性探针相匹配的(de)测量系统。通过探针和检测系统的协同工作，为微型LED产品的高效工艺控制和良品筛选提供(tígōng)关键工具。 图为测试系统中的柔性探针，当探针接触LED晶圆后点亮其中的一个LED发出蓝色(lánsè)光，通过同轴光路可观察光强和(hé)波长信息。（受访者(shòufǎngzhě)供图） “我们实现了从零到一的(de)突破，填补了微型LED电致发光检测的技术(jìshù)空白，也为其他复杂晶圆检测提供了革命性技术方案，随着探针阵列(zhènliè)规模与检测通道的持续拓展，未来或(huò)将在晶圆级集成检测、生物光子学等领域产生更广泛影响。”黄显说。 据悉，目前该技术已在天开高教科创园开启产品化进程，未来将(jiāng)为国内微型(wēixíng)LED产业提供批量(pīliàng)化、无损、低成本的检测解决方案，进一步拓展柔性电子技术的应用领域。